3.1 Состояния чистого помещения
Чистота воздуха по частицам в чистом помещении или чистой зоне должна быть определена по одному (или более) из трех состояний чистых помещений - построенному, оснащенному или эксплуатируемому (см. 2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние "построенное" может применяться к недавно построенным или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытания в состоянии "построенное" дальнейшие испытания должны выполняться по согласованию в состояниях "оснащенное" или "эксплуатируемое", или в обоих.
3.2 Классификационное число
Чистота по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом . Максимально допустимая концентрация частиц для каждого данного размера частиц определяется из уравнения
, (1)
где - максимально допустимая концентрация (число частиц в кубометре воздуха) взвешенных в воздухе частиц, равных или больших чем данный размер частиц. округляется до ближайшего целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр;
- классификационное число ИСО, которое не должно превышать значения 9. Промежуточные числа классификации ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением , равным 0,1;
- рассматриваемый размер частиц, мкм;
0,1 - константа, мкм.
В таблице 1 показаны классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам и соответствующие концентрации частиц размерами, равными и большими указанных размеров. На рисунке А.1 принятие класса чистоты показано в графическом виде. В случае разногласий концентрация , определяемая из уравнения (1), должна служить в качестве стандартного значения.
Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
Класс ИСО (Классифика- |
Пределы максимальных концентраций (частицы/м воздуха) |
|||||
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,5 |
1,0 |
5,0 |
|
Класс 1 ИСО |
10 |
2 |
||||
Класс 2 ИСО |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
Класс 3 ИСО |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
Класс 4 ИСО |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
Класс 5 ИСО |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
Класс 6 ИСО |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
Класс 7 ИСО |
352000 |
83200 |
2930 |
|||
Класс 8 ИСО |
3520000 |
832000 |
29300 |
|||
Класс 9 ИСО |
35200000 |
8320000 |
293000 |
|||
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом измерения, при классификации следует использовать данные по концентрации, имеющие не более трех значащих цифр. |
3.3 Обозначение класса чистоты
Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
a) классификационное число, выраженное как "класс N ИСО";
b) состояние чистого помещения, для которого применяется классификация;
c) рассматриваемый размер(ы) частиц и соответствующая концентрация(и), определенные по уравнению классификации (1), где каждый данный пороговый размер частиц находится в пределах 0,1-5,0 мкм.
Пример обозначения:
Класс 4 ИСО; эксплуатируемое состояние; рассматриваемые размеры:
0,2 мкм (2370 частиц/м), 1 мкм (83 частицы/м).
Рассматриваемый размер(ы) частиц, для которого следует определить концентрацию(и), должен быть согласован между Заказчиком и Исполнителем.
Если оценка должна быть сделана для более чем одного размера частиц, то каждый больший диаметр частицы (например, ) должен быть, по крайней мере, в 1,5 раза больше ближайшего меньшего диаметра частицы (например, ).
Например: >1,5.