ПРИЛОЖЕНИЕ Е
(справочное)
Е.1 Принцип
В некоторых случаях, обычно связанных со специфическими требованиями процесса, могут быть заданы другие уровни чистоты воздуха для множества частиц, размеры которых не находятся внутри диапазона размеров, применяемого при классификации. Максимально допустимая концентрация таких частиц и выбор метода испытаний, которым проверяется соответствие требованиям, являются предметом соглашения между Заказчиком и Исполнителем. Особенности метода испытаний и обозначения даны в Е.2 (для U-дескрипторов) и Е.3 (для М-дескрипторов).
Е.2 Частицы размером менее 0,1 мкм (ультрамелкие частицы) - U-дескриптор
Е.2.1 Применение
Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером менее 0,1 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.
Число точек пробоотбора должно быть установлено в соответствии с В.4.1 и минимальный объем пробы должен составлять 2 л (В.4.2.2).
Е.2.2 Обозначение U-дескриптора
U-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классу чистоты. U-дескриптор обозначается как
,
где - максимально допустимая концентрация ультрамелких частиц (выраженная в числе ультрамелких частиц в 1 м воздуха);
- размер в микрометрах, при котором используемый счетчик дискретных частиц считает частицы с 50%-ной эффективностью.
ПРИМЕР. Чтобы выразить максимально допустимую концентрацию ультрамелких частиц 140000 частиц/м в диапазоне размеров частиц 0,01 мкм, следует использовать обозначение: (140000; 0,01 мкм).
Примечания
1 Соответствующие методы измерения концентрации взвешенных в воздухе частиц размером менее чем 0,1 мкм даны в IEST-G-CC1002 [1].
2 Если U-дескриптор используется как дополнение к классу чистоты по взвешенным в воздухе частицам, то концентрация ультрамелких частиц () должна быть не менее предела концентрации (частиц в 1 м), применяемого для данного размера 0,1 мкм для заданного класса ИСО.
Е.3 Частицы размером более 5 мкм (макрочастицы) - М-дескриптор
Е.3.1 Применение
Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером более 5 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.
Поскольку выделение частиц в производственной среде обычно определяется наличием макрочастиц в системе взвешенных в воздухе частиц, то выбор пробоотборника и метод измерений должны учитывать особенности использования чистых помещений. Следует учесть такие факторы, как плотность, форма, объем и аэродинамическое поведение частиц. Следует обратить особое внимание на такие специфические компоненты взвешенных в воздухе частиц, как волокна.
Е.3.2 Обозначение М-дескриптора
М-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классам ИСО чистоты по взвешенным в воздухе частицам. М-дескриптор обозначается как
,
где - максимально допустимая концентрация макрочастиц (выраженная в числе макрочастиц в 1 м воздуха);
- эквивалентный диаметр (диаметры), связанный с точно установленным методом измерения макрочастиц (выраженный в микрометрах);
- специфицированный метод измерения.
Примечания
1 Если в отобранной пробе взвешенных частиц содержатся волокна, то они могут быть учтены дополнением к -дескриптору отдельного дескриптора для волокон, имеющим обозначение "".
ПРИМЕР. Чтобы выразить концентрацию взвешенных в воздухе частиц, равную 10000 частиц/м, в диапазоне размеров частиц более 5 мкм, с использованием времяпролетного аэрозольного счетчика, с помощью которого определяется аэродинамический диаметр частиц, обозначение должно быть следующим:
(10000; >5 мкм); времяпролетный аэрозольный счетчик.
ПРИМЕР. Чтобы выразить концентрацию взвешенных в воздухе частиц, равную 1000 частиц/м, в диапазоне размеров частиц 10-20 мкм, полученную с использованием каскадного импактора с последующим измерением размеров и счетом под микроскопом, обозначение должно быть следующим:
(1000; 10 мкм ... 20 мкм); каскадный импактор с последующим измерением размеров и счетом под микроскопом.
2 Соответствующие методы измерения концентрации взвешенных в воздухе частиц размером более 5 мкм даны в IEST-G-CC1003 [2].
3 Если -дескриптор используется как дополнение к классу чистоты по взвешенным в воздухе частицам, то концентрация макрочастиц (а) не должна быть больше предела концентрации (частиц в кубометре), применяемого для данного размера 5 мкм для заданного класса ИСО.