3.1 Состояния чистого помещения
При определении класса чистоты указывается состояние чистых помещений - "построенное", "оснащенное" или "эксплуатируемое" (2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние "построенное" может применяться к новым или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытаний в состоянии "построенное" дальнейшие испытания выполняются по согласованию с заказчиком в состояниях "оснащенное", "эксплуатируемое" или в обоих состояниях.
3.2 Классификационное число
Чистота помещения по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом 
. Максимально допустимая концентрация частиц 
, частиц/м
, с размерами, равными или большими заданного размера 
, для данного класса чистоты определяется по формуле
, (1)
где - классификационное число ИСО, которое не должно превышать значения 9. Промежуточные числа классификации ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением , равным 0,1;
0,1 - константа, мкм; - заданный размер частиц, мкм. округляется до целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр.
В таблице 1 приведены классы чистоты и соответствующие концентрации частиц с размерами, равными или большими заданных размеров. Графическое представление классов чистоты приведено в приложении А (рисунок А.1). Точное значение величины определяется по формуле (1).
Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
Класс |
Максимально допустимые концентрации частиц, частиц/м |
|||||
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,5 |
1,0 |
5,0 |
|
Класс 1 ИСО |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
Класс 2 ИСО |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
Класс 3 ИСО |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
Класс 4 ИСО |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
Класс 5 ИСО |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
Класс 6 ИСО |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
Класс 7 ИСО |
- |
- |
- |
352000 |
83200 |
2930 |
Класс 8 ИСО |
- |
- |
- |
3520000 |
832000 |
29300 |
Класс 9 ИСО |
- |
- |
- |
35200000 |
8320000 |
293000 |
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом счета частиц, при классификации следует использовать значения концентрации, имеющие не более трех значащих цифр. | ||||||
3.3 Обозначение класса чистоты
Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
a) классификационное число, выраженное как "Класс ИСО";
b) состояние чистого помещения;
c) заданные размеры частиц и соответствующие концентрации, определенные по уравнению (1), где каждый заданный пороговый размер частиц находится в пределах 0,1-5,0 мкм.
Пример обозначения:
Класс 4 ИСО; эксплуатируемое состояние; заданные размеры частиц:
0,2 мкм (2370 частиц/м); 1,0 мкм (83 частицы/м).
Размеры частиц, для которых следует определить концентрацию, должны быть согласованы заказчиком и исполнителем.
Если оценка должна быть сделана для более чем одного размера частиц, то каждый больший диаметр частицы (например, 
) должен быть, по крайней мере, в 1,5 раза больше ближайшего меньшего диаметра частицы (например, 
).
Например: 
.