ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

Приложение C (справочное). Приложение. Оборудование для проведения испытаний

Приложение C
(справочное)


В настоящем приложении установлены требования к измерительному оборудованию, которое применяется при использовании рекомендованных методов, приведенных в настоящем стандарте.

В таблицах C.1-C.29 приведены минимально необходимые требования для каждого вида оборудования. Все виды оборудования перечислены и пронумерованы в соответствии с приложением B, т.е. прибор под номером C.1 используется в методе испытаний (контроля), описанном в B.1. Лица, ответственные за планирование испытаний, могут обратиться к приложению А, в котором приведены рекомендуемые методы, средства измерений и последовательность испытаний, а затем к приложению С, где указано оборудование, необходимое для этих испытаний. Измерительное оборудование должно быть выбрано в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем.

Это приложение является справочным и не должно препятствовать использованию улучшенных видов оборудования, если таковые имеются. Альтернативные виды измерительного оборудования могут быть использованы по соглашению между заказчиком и исполнителем.

C.1 Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации

C.1.1 Дискретный счетчик частиц, в основе работы которого лежит принцип рассеяния света, - это прибор, позволяющий проводить счет отдельных взвешенных в воздухе частиц, определять их размер и выдавать данные о размере частиц, под которым понимается эквивалентный оптический диаметр.


Таблица C.1 - Требования к параметрам дискретного счетчика частиц, работающего на принципе светорассеяния

Параметр

Значение/характеристика

Чувствительность/разрешение, мкм

От 0,1 до 5 с разрешением размера не более 10%

Ошибка счета погрешность, %

±20 значения концентрации частиц

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Эффективность счета, %

(50±20) при минимальном пороговом размере и (100±10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер

Нижний предел концентрации

Частота ложных срабатываний счетчика незначительна по сравнению с действительно ожидаемой минимальной скоростью счета. Низкая скорость счета должна быть равна нулю частиц за определенное время (например, ни одной частицы за 5 мин)

Верхний предел концентрации

В два раза больше, чем предельная концентрация для данного класса чистоты чистого помещения, но не превышает 75% максимальной концентрации, рекомендованной изготовителем

Если счетчик имеет разрешение размера частицы более 10%, то это может привести к изменению значения счета частиц на порядок.


C.2 Определение концентрации ультрамелких аэрозольных частиц

C.2.1 Счетчик ядер конденсации - дискретный счетчик частиц, который считает все капельки, образуемые при конденсации пересыщенного пара на частицах пробы. Измеряется суммарная концентрация всех частиц, размеры которых не менее минимального размера, определяемого чувствительностью счетчика.


Таблица C.2 - Требования к счетчику ядер конденсации

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мЧисло

Концентрация до 3,5·10Число

Чувствительность/разрешение, мкм

Зависит от применения; например 0,02

Ошибка счета погрешность, %

±20 при минимальном пороговом размере

Стабильность счета

Может зависеть от типа окружающего газа

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Нижний предел по концентрации

Частота ложных срабатываний счетчика незначительна по сравнению с действительно ожидаемой минимальной скоростью счета

Примечание - Эффективность счета приведена на рисунке B.1.


C.2.2 Дискретный счетчик частиц - прибор, позволяющий определять размер и проводить счет отдельных аэрозольных частиц с учетом их размера, включая те, которые определены как ультрамелкие.


Таблица C.3 - Требования к дискретному счетчику частиц

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мЧисло

Концентрация частиц до 3,5·10Число

Чувствительность/разрешение, мкм

Меньше чем 0,1 с разрешением размера Число10%

Ошибка счета погрешность, %

±20 величины концентрации

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Эффективность счета, %

(50±20) при минимальном пороговом размере и (100±10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер

Примечание - Эффективность счета приведена на рисунке B.1.


C.2.3 Устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц - устройство, через которое проходит проба воздуха, и которое прикрепляется к входному отверстию пробоотборника счетчика ультрамелких частиц. Оно устраняет частицы с размерами, меньшими заданного. Примером таких устройств являются секции диффузионных батарей и виртуальный импактор.


Таблица C.4 - Требования к устройству, ограничивающему пропускание мелких частиц

Параметр

Значение/характеристика

Ошибка счета погрешность, %

Удаляется (50±10) частиц установленного размера

Периодичность калибровки, мес

Различная для разных типов устройств, но не менее 12

Скорость пробоотбора, %

Скорость потока через устройство должна быть постоянной ±10, и при этом не менее скорости, требуемой для счетчика частиц


C.3 Определение концентрации аэрозольных макрочастиц

C.3.1 Микроскоп для счета частиц, собранных на фильтровальной бумаге (см. ASTM F312 [4]).

C.3.2 Каскадный импактор - установка для сбора и накопления частиц, в которой поток пробы воздуха проходит с постоянной скоростью через ряд отверстий, уменьшающихся диаметров, и попадает на накопительные поверхности. С увеличением скорости потока через каждую ступень каскада уменьшается размер частиц, собираемых на накопительных поверхностях для их последующего счета или взвешивания.


Таблица C.5 - Характеристика для каскадного импактора

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений

Скорость отбора проб должна быть заданной

Чувствительность/разрешение

Субмикронные частицы могут быть накоплены при низком давлении

Точность, %

Точность ограничения размера на каждой ступени каскада не менее 90

Линейность

Осаждается значительное число частиц с размерами значительно отличающимися от установленного

Стабильность

Размер частиц с 50%-ным пропусканием зависит от скорости отбора проб

Постоянная времени

Минуты или дни (в зависимости от метода измерения)

Периодичность калибровки, мес

Не более 12


C.3.3 Дискретный счетчик макрочастиц - дискретный счетчик частиц, позволяющий измерять размер и проводить счет (если это необходимо) отдельных взвешенных в воздухе макрочастиц.


Таблица C.6 - Требования к дискретному счетчику макрочастиц

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мЧисло

Концентрация не более 1,0·10Число

Чувствительность/разрешение, мкм

От 5 до 80 с разрешением 20%

Ошибка погрешность, %

Погрешность определения размера ±5

Линейность

Изменяется в зависимости от состава и формы частиц

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Эффективность счета, %

(50±20) при минимальном пороговом размере и (100±10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер


C.3.4 Времяпролетный счетчик частиц - прибор, позволяющий производить счет дискретных частиц и определять их размер. Определение аэродинамического диаметра частиц происходит путем измерения времени, необходимого частице для изменения своей скорости в ответ на изменение скорости воздуха. Это обычно происходит путем измерения оптическими средствами времени пролета частицы после изменения скорости потока воздуха.


Таблица C.7 - Требования к времяпролетному счетчику частиц

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мЧисло

Концентрация частиц не более 1,0·10Число

Чувствительность/разрешение, мкм

От 0,5 до 20 с 10%-ным разрешением

Ошибка погрешность, %

±5 калиброванного размера

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Эффективность счета, %

(50±20) при минимальном пороговом размере и (100±10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер


C.3.5 Каскадный импактор с пьезоэлектрическим взвешиванием - установка для сбора и накопления частиц, в которой поток пробы воздуха проходит с постоянной скоростью через ряд отверстий, уменьшающихся диаметров, и попадает на накопительные поверхности, масса которых на каждой ступени каскада измеряется в процессе накопления с помощью пьезоэлектрических кварцевых датчиков микровесов.


Таблица C.8 - Требования к каскадному импактору с пьезоэлектрическим взвешиванием

Параметр

Значение/характеристика

Чувствительность/разрешение, мкм

Частицы размером от 5 до 50 могут быть накоплены при низких давлениях

Линейность

Осаждается значительное количество частиц с размерами значительно большими и меньшими, чем заданный

Стабильность

Размер частиц, пропускаемых каждой ступеней каскада, изменяется в зависимости от скорости отбора проб

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Минимальная чувствительность накопления частиц, мкг/мЧисло

10 - для частиц с удельной массой, равной двум


C.4 Контроль потока воздуха

C.4.1 Измерение скорости воздуха

C.4.1.1 Термоанемометр - определяет скорость воздуха путем измерения изменения теплопередачи маленького электрически нагреваемого датчика, помещенного в воздушный поток.


Таблица C.9 - Требования к термоанемометру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, м/с

От 0,1 до 1,0 в системах чистого воздуха, от 0,5 до 20 в воздуховодах

Чувствительность/разрешение, м/с

0,05 (или как минимум 1% полной шкалы)

Погрешность, %

±5 значения +0,1 м/с

Время отклика, с

Меньше 1 при 90% от полной шкалы

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Чувствительность и точность - (см. ИСО 7726). Характеристики прибора должны быть скорректированы при изменении температуры и атмосферного давления.


C.4.1.2 Трехмерный ультразвуковой анемометр или эквивалентный - определяет скорость звука путем измерения сдвига частоты звука (изменения скорости звука) между выбранными точками в контролируемом потоке воздуха.


Таблица C.10 - Требования к трехмерному ультразвуковому анемометру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, м/с

От 0 до 1 в системе чистого воздуха

Чувствительность/разрешение, м/с

0,01

Погрешность, %

±5 от полученного значения

Постоянная времени, с

Менее 1

Периодичность калибровки, мес

Не более 12


C.4.1.3 Крыльчатый анемометр - определяет скорость воздуха путем измерения скорости вращения крыльчатки анемометра.


Таблица C.11 - Требования к крыльчатому анемометру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, м/с

От 0,2 до 1,0

Чувствительность/разрешение, м/с

0,1

Погрешность, %

0,2 м/с или ±5% (берется большее значение)

Постоянная времени, с

Менее 10 при 90% полной шкалы

Периодичность калибровки, мес

Не более 12


C.4.1.4 Трубка Пито и манометр (цифровой) - измеряет скорость звука путем измерения разности полного и статического давления в определенной точке воздушного потока с помощью электрического цифрового манометра.


Таблица C.12 - Требования к трубке Пито и манометру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, м/с

Не менее 1,5

Чувствительность/разрешение, м/с

0,5

Погрешность, %

±5 полученного значения

Постоянная времени, с

Менее 10 при 90% полной шкалы

Периодичность калибровки, мес

Не более 12


C.4.2 Измерители потока воздуха

C.4.2.1 Расходомер с раструбом - применяется для измерения суммарного расхода воздуха через сечение, где скорость потока может варьироваться. Весь воздушный поток собирается и распределяется в точке измерений таким образом, что скорость в этой точке соответствует средней скорости по поперечному сечению.


Таблица C.13 - Требования к расходомеру с раструбом

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мЧисло/час

От 50 до по крайней мере 1700

Погрешность, %

±5 значения

Постоянная времени, с

Менее 10 при 90% полной шкалы

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Пределы измерений и разрешение зависят от размеров используемого кожуха.


С.4.2.2 Измерение отверстий - в соответствии с ИСО 5167-2 [20].

С.4.2.3 Трубка Вентури - в соответствии с ИСО 5167-4 [22].

C.5 Измерение перепада давления

C.5.1 Электронный микроманометр - используется для определения разности давлений путем измерения изменения электростатической емкости или электронного сопротивления, отражающих перемещение диафрагмы.


Таблица C.14 - Требования к электронному микроманометру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений

От 0 до 100 Па для типичного малого диапазона;

От 0 до 100 кПа для типичного большого диапазона

Чувствительность/разрешение

1±0,1, от 0 до 100

Погрешность, %

±1,5 полной шкалы для диапазона от 0 до 100 Па, ±1 от полной шкалы для диапазона от 0 до 100 кПа


C.5.2 Наклонный манометр - используется для определения разности давлений между двумя точками путем визуального считывания показаний наклонной шкалы, отражающей высоту гидростатического напора в трубке манометра, заполненной такими жидкостями как вода или спирт.


Таблица C.15 - Требования к наклонному манометру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений

От 0 до 0,3 кПа или от 0 до 1,5 Па

Чувствительность, Па

1 Па для диапазона от 0 до 0,3 кПа

Погрешность, %

±3 для диапазона от 0 до 0,3 кПа

Амплитуда шкалы

От 2 до 10 для диапазона от 0 до 0,3 кПа


C.5.3 Механический датчик перепада давления - используется для определения разности давлений в двух точках путем измерения величины передвижения стрелки, соединенной механическим или магнитным приводом с диафрагмой и отражающей ее перемещение.


Таблица C.16 - Требования к механическому датчику перепада давления

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений

От 0 до 50 Па для типичного малого диапазона

От 0 до 50 кПа для типичного большого диапазона

Чувствительность/разрешение, Па

0,5 для диапазона от 0 до 50

Погрешность, %

±5 от полной шкалы для диапазона от 0 до 50 Па,

±2,5 от полной шкалы для диапазона от 0 до 50 кПа


C.6 Контроль целостности установленной системы фильтрации

C.6.1 Фотометры аэрозолей

C.6.1.1 Линейный фотометр аэрозолей - прибор, использующийся для измерения массовой концентрации аэрозоля в мг/л. Фотометр работает на принципе рассеяния вперед. Прибор может быть использован для прямых измерений нарушения целостности фильтра.


Таблица C.17 - Характеристика для линейного фотометра аэрозолей

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мкг/л:

От 0,001 до 100

Чувствительность/разрешение, мкг/л

0,001

Погрешность, %

±5

Линейность, %

±0,5

Стабильность, мкг/л в минуту

±0,002

Постоянная времени

От 0 до 90% при испытании не более 30 с, от 100 мкг/л до 10 г/л при испытании не более 60 с

Периодичность калибровки

12 мес или после 400 часов работы, в зависимости от того, что произойдет раньше

Длина трубки пробоотборника, м

Не более 4

Индикация

Цифровая или аналоговая

Размер частиц

Превышает диапазон измерений от 0,1 до 0,6 мкм

Расход воздуха при отборе проб, л/мин

28±3

Минимальный размер для испытаний, мм

4,8 в диаметре

Размеры пробоотборника

По B.6.2.3


C.6.1.2 Логарифмический фотометр аэрозолей - прибор, используемый для измерения массовой концентрации аэрозоля в мкг/л. Фотометр работает на принципе рассеяния вперед. Прибор не может быть использован для прямых измерений нарушения целостности фильтра.


Таблица C.18 - Характеристика для логарифмического фотометра аэрозолей

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мкг/л

От 0,01 до 100

Чувствительность/разрешение, мкг/л

0,001

Погрешность, %

±5

Стабильность, мкг/л в минуту

±0,002

Постоянная времени

От 0% до 90% при испытании не более 60 с, от 100 мкг/л до 10 г/л при испытании не более 90 с

Периодичность калибровки, мес

Через 12 месяцев или после 400 часов работы, в зависимости от того, что произойдет раньше

Длина трубки пробоотборника, м

Не более 4

Размер частиц

От 0,1 до 0,6 мкм превышает диапазон измерений

Расход воздуха при отборе проб

Номинальный расход ±15%

Размеры пробоотборника

По B.6.2.3


C.6.2 Дискретный счетчик частиц - в соответствии с C.1.1.

C.6.3 Генератор аэрозолей - может генерировать частицы с размерами, лежащими в установленном диапазоне (например, от 0,05 до 2 мкм), с постоянной концентрацией за счет теплового, гидравлического, пневматического, акустического и электростатического эффектов.

C.6.4 Вещества для генерирования контрольных аэрозолей - инертные вещества для распыления в виде аэрозоля, в жидкой или твердой фазе.

Используют, наиболее типичные, следующие вещества:

a) Поли-альфа-олефиновое (poly-alpha olefin - PAO) масло*, 4 сантистокса (например, CAS # 68649-12-7**)
_______________
* Патент США 5,059,349 [26] и 5,059,352 [27] содержится описание и ограничения на использование РАО для проверки фильтров.

** САS #, регистрационный номер в Chemical Abstract Service, т.е. вещество зарегистрировано в Chemical Abstract Американского Химического Общества [14].

b) Диоктилсебацинат (dioctyl sebacate - DOS).

c) Ди-2-этилгексилсебацинат (di-2-ethyl hexyl sebacate - DEHS).

d) Диоктил(2-этилгексил)фталат (dioctyl (2-ethyl hexyl) phtalat - DOP*) (например, CAS # 117-81-7) .
_______________
* В некоторых странах DOP для тестирования фильтров не применяется из соображений безопасности.

e) Шелл Ондина - минеральное масло пищевого качества (например, CAS # 8042-47-5).

f) Парафиновое масло (например, CAS # 64742-46-7).

g) Полистириловый латекс (polystyrene latex - PSL).

C.6.5 Система разбавления - оборудование, в котором аэрозоль с целью уменьшения его концентрации смешивается с чистым воздухом в известном объемном соотношении (1:10, 1:100).

C.7 Определение направления потока воздуха, визуализация потока

C.7.1 Оборудование и материалы для определения направления потока воздуха и визуализации - приведено в таблицах С.19 и С.20.


Таблица C.19 - Материалы и частицы, используемые для визуализации воздушного потока

Материал или оборудование

Характеристика

Материалы, используемые в методе нитей

Шелковая нить, ткань и пр.

Частицы, используемые в методе введения частиц

Деионизованная вода или другое распыляемое вещество с диаметром частиц от 0,5 до 50 мкм

Устройства, записывающие картину визуализации потоков воздуха или трассирования частиц

Фотоаппараты, видеокамеры, в т.ч. имеющие высокоскоростные, стробоскопические или синхронизирующие функции и средства видеозаписи, используемые в методах визуализации

Примечание - После визуализации воздушного потока, как правило, требуется провести повторную чистку помещения.



Таблица C.20 - Источники света для визуализации воздушного потока

Оборудование

Характеристика

Различные источники света для создания контрастной картины или визуализации потоков воздуха

Вольфрамовые, флуоресцентные, галогеновые, ртутные лампы,
лазерные источники света (гелий-неоновые, на ионах аргона, аллюминиево-иттриевом гранате и пр.) со стробоскопическими устройствами для записи или без них

Устройства видеозаписи для количественной оценки при визуализации потоков

Метод записи лазерного луча на пластину, состоящий из лазера
высокой мощности (аргонового или на аллюминиево-иттриевом гранате), оптические устройства с цилиндрическими линзами и контроллером для визуализации в двухмерном изображении

C.7.2 Термоанемометр - в соответствии с C.4.1.1.

C.7.3 Трехмерный ультразвуковой анемометр - в соответствии с С.4.1.2.

C.7.4 Генератор аэрозолей

Генератор аэрозолей для визуализации потока может быть таким же как описано C.6.3. Ниже приведены примеры генераторов частиц и ультразвуковых распылителей.

C.7.4.1 Ультразвуковой распылитель - прибор, используемый для генерирования аэрозолей (тумана), получаемых путем воздействия сфокусированной звуковой волны на жидкость (например, деионизованной воды), в результате чего образуются мелкие капельки.


Таблица C.21 - Требования к ультразвуковому распылителю

Параметр

Значение/характеристика

Диапазон размеров частиц (капелек), мкм

Например, от 6 до 9, или от 30 до 70* (MMD)

Концентрация суспензии г/смЧисло или мл/мин

От 70 г/смЧисло до 150 г/смЧисло или от 1 мл/мин до 6 мл/мин

* Диапазон размеров зависит от частоты ультразвука, например при 1 МГц: от 6 мкм до 9 мкм.


C.7.4.2 Генератор тумана - прибор, используемый для генерирования аэрозолей (тумана), получаемых за счет фазового перехода газ-жидкость при охлаждении пара кипящей жидкости.


Таблица C.22 - Требования к генератору тумана

Параметр

Значение/характеристика

Диапазон размеров частиц (капелек), мкм

От 1 до 10 (MMD)

Скорость генерации частиц, г/мин

От 1 до 25 включ.


C.8 Измерение температуры

C.8.1 Стеклянный термометр

C.8.2 Термометр

C.8.3 Измеритель температуры с термосопротивлениями

C.8.4 Термистор

C.9 Измерение влажности

C.9.1 Гигрометр емкостной

C.9.2 Гигрометр волосковый

C.9.3 Датчик точки росы

C.9.4 Психрометр

C.10 Измерение статического электричества и генерирования ионов

C.10.1 Электростатический вольтметр - прибор, используемый для измерения среднего напряжения (потенциала) на маленькой площадке путем измерения напряженности электрического поля на электроде внутри пробника через маленькую диафрагму в пробнике.


Таблица C.23 - Требования к прецизионному электростатическому вольтметру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, кВ

От -3 до 3

Чувствительность/разрешение

Площадка диаметром 0,8 мм, 0,3 В (эффективное напряжение) или 2 В (p-p)

Погрешность, %

0,1

Постоянная времени, мс

Не более 4 (от 10% до 90%)

Периодичность калибровки, мес

Не более 12



Таблица C.24 - Требования к ручному электростатическому вольтметру или электростатическому измерителю поля

Параметр

Характеристика

Пределы/диапазон измерений, кВ/см

±10

Погрешность, %

±5 результата измерений или ±0,01 кВ

Постоянная времени, с

Меньше чем 2 для напряжения от 0 до +5 кВ

Периодичность калибровки, мес

Не более 12


C.10.2 Высокоомный омметр - прибор, используемый для измерения сопротивления изолирующих материалов и компонентов путем регистрирования тока утечки от устройства под высоким напряжением к испытуемому устройству.


Таблица C.25 - Требования к высокоомному омметру

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, Ом

От 1 Ом до 3·10Число Ом

Погрешность, %

±5 полной шкалы измерений

Постоянная времени, мс

От 10 до 390

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Напряжение при контроле, В

От 0,1 до 1000, постоянное

Максимальный входной ток, мА

Не более 10

Максимальный выходной ток, мА

10 при <100 В, 5 при <250 В, 2 при <500 В, 1 при <1000 В


C.10.3 Регистратор заряда пластины - устройство для измерения нейтрализационной способности ионизаторов и ионизационных установок.


Таблица C.26 - Требования к регистратору заряда пластины

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, кВ

От -5 до +5

Погрешность, %

±5 полной шкалы измерений

Постоянная времени, с

0,1

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Изоляционные свойства, %

Самопроизвольная разрядка менее 10% за 5 минут при 40%-ной относительной влажности и менее чем 200 ионов/смЧисло

Емкость пластины, пФ

20±2

Размер пластины, мм

150x150

Зарядка, кВ

Не менее 1 для каждой полярности, ток ограничен


C.11 Исследование осаждения частиц

C.11.1 Фотометр для осажденных частиц (седиментометр) - прибор для измерения всего рассеянного света от частиц, осевших на темные стеклянные накопительные пластинки, и представляет эти данные как коэффициент седиментации, который связан с концентрацией частиц, которые могли бы осесть на критические поверхности.


Таблица C.27 - Требования к фотометру для осажденных частиц (седиментометра)

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, %

Не более 0,5 площади

Периодичность калибровки, мес

Не более 12

Средства калибровки, мкм

Флуоресцирующие частицы размером 4 и 10


C.11.2 Счетчик частиц на поверхности - измеряет количество (размер) дискретных частиц, осевших на поверхности, в основе работы лежит эффект рассеяния света.


Таблица C.28 - Требования к счетчику частиц на поверхности

Параметр

Значение/характеристика

Пределы/диапазон измерений, мкм

От 0,1 до 5,0 не более 10% разрешения в зависимости от размера


C.11.3 Генератор полистироловых латексных частиц

Установка для производства сферических монодисперсных полистироловых латексных частиц путем распыления жидкой суспензии с помощью сжатого воздуха. Полистироловые латексные частицы могут использоваться для калибровки дисперсных счетчиков частиц и другого оборудования с селекцией по размеру частиц, такого, например, как каскадные импакторы.


Таблица C.29 - Требования к генератору полистироловых латексных частиц

Параметр

Значение/характеристика

Диапазон размеров частиц, мкм

Обычно от 0,1 до 2

Концентрация суспензии, г/смЧисло

До 10Число

Концентрация на выходе, частиц/л

От 300 до 30000 включ.

Давление воздуха при распылении

Например 177 кПа; 120 л/час


C.12 Измерение времени восстановления

C.12.1 Дискретный счетчик частиц - в соответствии с C.1.1.

C.12.2 Генератор аэрозолей - в соответствии с C.6.3.

C.12.3 Система разбавления - в соответствии с C.6.5.

C.13 Испытание герметичности ограждающих конструкций

C.13.1 Дискретный счетчик частиц - в соответствии с C.1.1.

C.13.2 Генератор аэрозолей - в соответствии с C.6.3.

C.13.3 Система разбавления - в соответствии с C.6.5.

C.13.4 Фотометр - в соответствии с C.6.1.

      Магазин учебных материалов