ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

Приложение А (справочное). Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их проведения

Приложение А
(справочное)

А.1 Общие положения

Приведенные в настоящем стандарте методы испытаний могут использоваться для проверки соответствия параметров чистого помещения установленным требованиям, а также для проведения периодического контроля.

Выбор методов испытаний зависит от конструкции чистого помещения, его состояния и вида аттестации.

Последовательность проведения испытаний должна быть заблаговременно согласована между заказчиком и исполнителем, и должна позволять уменьшить ненужную работу в случае несоответствия критериев заданным требованиям.

А.2 Перечень контролируемых параметров испытаний

В таблице А.1 приведен рекомендуемый перечень контролируемых параметров испытаний и применяемого оборудования. Последовательность проведения испытаний должна быть согласована между заказчиком и исполнителем.

Таблица А.1 - Рекомендуемый перечень контролируемых параметров испытаний чистых помещений и последовательность проведения испытаний


Отметка о выборе контроли- руемых параметров испытаний и их очеред- ности*	Контролируемый параметр	Пункт прило- жения В с описанием методики	Отметка о выборе обору- дования**	Тип оборудования	Пункт прило- жения С с описа- нием обору- дования	При- меча- ние
	Концентрация аэрозольных частиц при классификации и аттестации	В.1		Дискретный счетчик частиц	С.1
	Концентрация ультрамелких аэрозольных частиц	В.2		Счетчик ядер конденсации	С.2.1
				Дискретный счетчик частиц	С.2.2
				Устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц	С.2.3
	Концентрация аэрозольных макрочастиц	В.3			С.3
	Концентрация аэрозольных макрочастиц с предварительным накоплением	В.3.3.2 (приложение В)		Микроскоп для счета частиц на накопительной фильтровальной бумаге	С.3.1
				Каскадный импактор	С.3.2
	Концентрация аэрозольных макрочастиц без предварительного накопления	В.3.3.3 (приложение В)		Дискретный счетчик частиц	С.3.3
				Времяпролетный счетчик частиц	С.3.4
	Поток воздуха	В.4			С.4
	Скорость потока воздуха в чистых помещениях (чистых зонах) с однонаправленным потоком	В.4.2.2 и В.4.2.3 (приложение В)		Термоанемометр	С.4.1.1
				Ультразвуковой анемометр, трехразмерный или эквивалентный ему прибор	С.4.1.2
				Крыльчатый анемометр	С.4.1.3
				Трубки Пито и манометр	С.4.1.4
	Скорость приточного воздуха в чистых помещениях (чистых зонах) с неоднонаправленным потоком	В.4.3.3 (приложение В)		Термоанемометр	С.4.1.1
				Ультразвуковой анемометр, трехразмерный или эквивалентный ему прибор	С.4.1.2
				Крыльчатый анемометр	С.4.1.3
				Трубки Пито и манометр	С.4.1.4
	Расход воздуха после установленных фильтров	В.4.3.2		Раструб для сбора полного потока воздуха с расходомером	С.4.2.1
				Диафрагменный расходомер	С.4.2.2
				Расходомер Вентури	С.4.2.3
	Расход воздуха в приточном воздуховоде	В.4.2.5		Раструб для сбора полного потока воздуха с расходомером	С.4.2.1
				Диафрагменный расходомер	С.4.2.2
				Расходомер Вентури	С.4.2.3
				Трубки Пито и манометр	С.4.1.4
	Перепад давления	В.5		Электронный микроманометр	С.5.1
				Наклонный манометр	С.5.2
				Механический датчик перепада давления	С.5.3
	Целостность установленной системы фильтрации	В.6			С.6
	Целостность установленной системы фильтрации (метод сканирования)	В.6.2 и В.6.3		Линейный фотометр аэрозолей	С.6.1.1
				Логарифмический фотометр аэрозолей	С.6.1.2
				Дискретный счетчик частиц	С.6.2
				Генератор аэрозолей	С.6.3
				Вещества для производства контрольных аэрозолей	С.6.4
				Система разбавления	С.6.5
				Счетчик ядер конденсации	С.2.1
	Интегральная целостность фильтров, встроенных в воздуховоды или кондиционеры	В.6.4		Линейный фотометр аэрозолей	С.6.1.1
				Логарифмический фотометр аэрозолей	С.6.1.2
				Дискретный счетчик частиц	С.6.2
				Генератор аэрозолей	С.6.3
				Вещества для генерирования контрольного аэрозоля	С.6.4
				Система разбавления	С.6.5
				Счетчик ядер конденсации	С.2.1
	Направление потока воздуха, визуализация потока	В.7 (приложение В)		Аэрозоли для визуализации	С.7.1
				Термоанемометр	С.7.2
				Трехмерный ультразвуковой анемометр	С.7.3
				Генератор аэрозолей	С.7.4
				Генератор тумана	С.7.4
	Температура	В.8 (приложение В)			С.8
	Обычные измерения	В.8.2.1 (приложение В)		Стеклянный термометр	С.8.1
				Термометр	С.8.2
				Измеритель температуры с термосопротивлениями	С.8.3
				Термистор	С.8.4
	Пространственные измеренния	В.8.2.2 (приложение В)		Стеклянный термометр	С.8.1
				Термометр	С.8.2
				Измеритель температуры с термосопротивлениями	С.8.3
				Термистор	С.8.4
	Влажность	В.9 (приложение В)		Гигрометр емкостной	С.9.1
				Гигрометр волосковый	C.9.2
				Датчик точки росы	С.9.3
				Психрометр	С.9.4
	Статическое электричество и генерация ионов	В.10 (приложение В)			С.10
	Статическое электричество	В.10.2.1 (приложение В)		Электростатический вольтметр	С.10.1
				Высокоомный омметр	С.10.2
				Регистратор заряда пластины	С.10.3
	Генерация ионов	В.10.2.2 (приложение В)		Электростатический вольтметр	С.10.1
				Высокоомный омметр	С.10.2
				Регистратор заряда пластины	С.10.3
	Осаждение частиц	В.11		Демонстрационная пластина
				Бинокулярный микроскоп
				Фотометр для осажденных частиц (седиментометр)	С.11.1
				Счетчик частиц на поверхности	С.11.2
				Генератор частиц	С.11.3
	Время восстановления	В.12		Дискретный счетчик частиц	С.12.1
				Генератор аэрозолей	С.12.2
				Система разбавления	С.12.3
	Герметичность ограждающих конструкций:	В.13			С.13
	- испытание с помощью дискретного счетчика частиц	В.13.2.1		Дискретный счетчик частиц	С.13.1
				Генератор аэрозолей	С.13.2
	- испытание с помощью фотометра	В.13.2.2		Система разбавления	С.13.3
				Фотометр	С.13.4
				Генератор аэрозолей	С.13.2
* При планировании и выборе испытаний в первой графе можно ставить номера, соответствующие последовательности проведения испытаний. ** В четвертой графе можно отмечать оборудование, соответствующее выбранным методам испытаний.