В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 Общая часть
3.1.1 чистое помещение (cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.1)].
3.1.2 чистая зона (clean zone): Пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.2)].
3.1.3 система чистого помещения (installation): Чистое помещение или одна или несколько чистых зон со всеми относящимися к ним структурами, системами подготовки воздуха, обслуживания и утилизации [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.3)].
3.2.4 изолирующее устройство (separative device): Оборудование, которое за счет конструкционных или динамических свойств обеспечивает необходимое разделение внутреннего объема устройства и окружающей его среды.
Примечание - Примерами изолирующих устройств являются укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения.
3.2 Аэрозольные частицы
3.2.1 генератор аэрозолей (aerosol generator): Устройство, позволяющее за счет теплового, гидравлического, пневматического, акустического или электростатического эффектов генерировать с постоянной концентрацией частицы, размеры которых соответствуют установленному диапазону (например, от 0,05 до 2 мкм).
3.2.2 аэрозольная частица (airborne particle): Взвешенный в воздухе твердый или жидкий объект, живой или неживой, с размерами, как правило, от 1 нм до 100 мкм.
Примечание - Классификация частиц приведена в ИСО 14644-1 (пункт 2.2.1).
(Поправка. ИУС 4-2015).
3.2.3 счетная медиана диаметров частиц; СМД (count median particle diameter, CMD): Усредненный диаметр частицы, полученный из распределения числа частиц.
Примечание - Счетная медиана определяется следующим образом: при распределении половина частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина - диаметр больший, чем счетная медиана.
3.2.4 макрочастица (macroparticle): Частица с эквивалентным диаметром более 5 мкм [ИСО 14644-1(пункт 2.2.6)].
3.2.5 М-дескриптор (M-descriptor): Полученное или заданное количество макрочастиц в 1 м
воздуха, эквивалентный диаметр которых зависит от используемого метода измерения.
Примечание - М-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). М-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1, (пункт 2.3.2)].
3.2.6 медиана диаметров частиц по массе (count median particle diameter, CMD): Диаметр частицы, определение которого основано на распределении массы частиц как функции их диаметра.
Примечание - Эта медиана определяется таким образом, что половина массы частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина - диаметр больший, чем массовая медиана.
3.2.7 концентрация частиц (particle concentration): Число частиц в единице объема воздуха.
3.2.8 размер частицы (particle size): Диаметр сферы, сигнал от которой в контрольном приборе, определяющем размер частиц, равен сигналу от оцениваемой частицы.
3.2.9 распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров [ИСО 14644-1, (подраздел 2.2.4)].
3.2.10 контрольный аэрозоль (test aerosol): Суспензия взвешенных в воздухе твердых и (или) жидких частиц с известными концентрацией и распределением по размеру.
3.2.11 U-дескриптор (U-descriptor): Полученное или заданное количество частиц, включая ультрамелкие частицы, в 1 м воздуха.
Примечание - U-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). U-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1, (пункт 2.3.1)].
3.2.12 ультрамелкая частица (ultrafine particle): Частица с эквивалентным диаметром менее 0,1 мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.5)].
3.3 Фильтры очистки воздуха и системы фильтрации
3.3.1 испытание с использованием аэрозоля (aerosol challenge): Испытание фильтра или установленной системы фильтрации при помощи контрольного аэрозоля.
3.3.2 допустимая утечка (designated leak): Максимально допустимый проскок частиц, установленный по соглашению между заказчиком и исполнителем как утечка, определяемая путем сканирования с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей.
3.3.3 система разбавления (dilution system): Система, в которой аэрозоль с целью уменьшения концентрации частиц смешивается в известном соотношении объемов с воздухом, не содержащим частиц.
3.3.4 система фильтрации (filter system): Система, состоящая из фильтра, рамы и других элементов крепления фильтра или других фильтродержателей.
3.3.5 финишный фильтр (final filter): Фильтр последней ступени очистки, через который проходит воздух, перед тем как попасть в помещение.
3.3.6 установленная система фильтрации (installed filter system): Система фильтрации, вмонтированная в потолок, стену, оборудование или воздуховод.
3.3.7 испытание целостности установленной системы фильтрации (installed filter system leakage test): Испытание, для проверки правильности установки фильтров, отсутствия утечек в обход фильтров, а также самих фильтров и их креплений на содержание дефектов и утечек.
3.3.8 утечка (leak): Проскок частиц, приводящий к превышению их ожидаемой концентрации после фильтра из-за нарушения целостности в системе фильтрации.
3.3.9 сканирование (scanning): Метод обнаружения утечек в системе фильтрации, при котором пробоотборником фотометра аэрозолей или дискретного счетчика частиц совершают перекрывающиеся движения вдоль определенной испытуемой плоскости.
3.3.10 стандартная утечка (standard leak penetration): Проскок, определяемый с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей, имеющих стандартную скорость отбора проб, когда пробоотборник находится напротив места утечки.
Примечание - Значение проскока равно отношению концентрации частиц в воздухе после фильтра к концентрации частиц перед фильтром.
3.4 Поток воздуха
3.4.1 кратность воздухообмена (air exchange rate): Интенсивность обмена воздуха, определяемая как число обменов воздуха в единицу времени, равная отношению объема воздуха, подаваемого в единицу времени, к объему пространства, куда он подается.
3.4.2 средний расход воздуха (average aiflow rate): Среднее значение объема воздуха, подаваемого в единицу времени, используемое для определения кратности воздухообмена в чистом помещении или чистой зоне.
Примечание - Расход воздуха выражается в м/ч.
3.4.3 плоскость измерений (measuring plane): Плоскость поперечного сечения, в которой проводятся испытания или измеряется скорость потока воздуха.
3.4.4 неоднонаправленный поток воздуха (non-unidirectional airflow): Поток воздуха, распределение скоростей которого обусловлено вихревым перемешиванием воздуха, поступающего в чистое помещение или чистую зону, с внутренним воздухом [ИСО 14644-4 (пункт 3.6)].
3.4.5 расход приточного воздуха (supply airflow rate): Объем воздуха, подаваемого в чистое помещение (чистую зону) через финишные фильтры или воздуховоды в единицу времени.
3.4.6 полный расход воздуха (total airflow rate): Объем воздуха, который проходит через чистое помещение (чистую зону) в единицу времени.
3.4.7 однонаправленный поток воздуха (unidirectional airflow): Поток воздуха проходящего с постоянной скоростью и имеющего приблизительно параллельные линии тока по всему поперечному сечению чистой зоны.
3.4.8 однородность потока воздуха (uniformity of airflow): Характеристика однонаправленного потока воздуха, когда значения скоростей воздуха в различных точках находятся в установленных пределах относительно средней скорости потока воздуха.
3.5 Статическое электричество
3.5.1 время разряда (discharge time): Время, необходимое для уменьшения напряжения до начального уровня (положительного или отрицательного).
3.5.2 напряжение смешения (offset voltage): Электрический потенциал, накапливающийся на первоначально незаряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный воздух окружающей среды.
3.5.3 рассеивание статического электричества (static-dissipative property): Снижение количества электростатического электричества на рабочей поверхности или поверхности продукта вследствие проводимости или других механизмов до установленного значения или нулевого уровня.
3.5.4 поверхностное напряжение (surface voltage level): Положительный или отрицательный электрический заряд на рабочей поверхности или поверхности продукта, накапливаемый при использовании соответствующего оборудования.
3.6 Контрольно-измерительное оборудование и способы отбора проб
3.6.1 фотометр аэрозолей (aerosol photometer): Устройство, для определения массовой концентрации аэрозольных частиц, работа которого основана на принципе рассеивания света.
3.6.2 неизокинетический отбор проб (anisokinetic sampling): Условие отбора проб, при котором средняя скорость воздуха, поступающего в пробоотборник, значительно отличается от средней скорости однонаправленного потока воздуха в точке отбора пробы.
3.6.3 каскадный импактор (cascade impactor): Устройство для отбора проб, в котором накапливаются частицы, отбираемые из аэрозоля, на серии накопительных пластин, используя принцип импакции (осаждения).
Примечание - Через каждую последующую накопительную пластину поток аэрозоля проходит с большей скоростью, чем через предыдущую, в результате чего на ней осаждаются более мелкие частицы, чем на предыдущей накопительной пластине.
3.6.4 счетчик ядер конденсации (condensation nucleus counter, CNC): Устройство, которое позволяет увеличивать размеры ультрамелкой частицы за счет эффекта конденсации с целью их последующего счета с использованием оптических методов счета частиц.
3.6.5 эффективность счета (counting efficiency): Отношение полученной концентрации частиц в определенном диапазоне размеров к действительной концентрации таких частиц.
3.6.6 дифференциальный анализатор подвижности (differential mobility analyzer, DMA): Устройство, позволяющее получить распределение частиц по размеру, работа которого основана на принципе подвижности частиц в электрическом поле.
3.6.7 секция диффузионной батареи (diffusion battery element): Элемент многоступенчатого устройства для сортировки частиц по размерам, использующий эффект диффузии для удаления наименьших частиц из потока аэрозоля.
3.6.8 дискретный счетчик частиц (discrete-particle counter, DPC): Устройство, для счета частиц в определенном объеме воздуха в зависимости от их размера.
3.6.9 фоновый счет (false count, background noise count, zero count): Результат счета частиц дискретным счетчиком, получаемый при отсутствии частиц, вызванный влиянием внешних и внутренних электронным наводкам*.
________________
* Текст соответствует оригиналу. - Примечание изготовителя базы данных.
3.6.10 расходомер с раструбом, расходомер (flowhood with flowmeter): Устройство, полностью накрывающее фильтр или диффузор, с оборудованием для прямого измерения расхода воздуха через каждый финишный фильтр или воздушный диффузор в чистом помещении или чистой зоне.
3.6.11 изоаксиальный отбор проб (iso-axial sampling): Отбор проб, при котором направление воздушного потока на входе в пробоотборник совпадает с направлением однонаправленного потока, подлежащего отбору.
3.6.12 изокинетический отбор проб (isokinetic sampling): Отбор проб, при котором средняя скорость воздуха, входящего в пробоотборник, равна средней скорости однонаправленного потока в точке отбора.
3.6.13 устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц (particle size cutoff device): Устройство, помещаемое на входе в дискретный счетчик частиц или счетчик ядер конденсации для удаления частиц размером менее установленного.
3.6.14 пороговый размер (threshold size): Минимальный размер частицы, выбранный для определения концентрации частиц с размерами, большими или равными этому значению.
3.6.15 определение размера частицы по времени пролета (time-of-flight particle size measurement): Определение аэродинамического диаметра частицы путем измерения времени, необходимого для ее прохождения расстояния между двумя плоскостями.
Примечание - Это измерение основано на эффекте изменения скорости частиц, попадающих в поток с градиентом скорости воздуха.
3.6.16 виртуальный импактор (virtual impactor): Устройство для разделения по размеру частиц, которые под действием внутренних сил сталкиваются с предполагаемой (виртуальной) поверхностью.
Примечание - Большие частицы проходят через некоторую предполагаемую поверхность в пространстве стандартного объема, в то время как маленькие частицы отклоняются вместе с основной частью воздушного потока.
3.6.17 демонстрационная пластина (witness plate): Чувствительный к загрязнениям материал с определенной площадью поверхности, используемый вместо прямого измерения загрязнения поверхности, которая находится в недоступном месте или слишком чувствительна для прямого измерения.
3.7 Состояния чистого помещения или чистой зоны (Occupancy states)
3.7.1 построенное (as-built): Состояние, в котором монтаж чистого помещения завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.1)].
3.7.2 оснащенное (at-rest): Состояние, в котором чистое помещение укомплектовано оборудованием и действует по соглашению между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.2)].
3.7.3 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.3)].