Приложение В
(справочное)
Согласно ГОСТ Р ИСО 14644-4 монтаж чистых помещений следует выполнять в соответствии с планом качества, частью которого является протокол чистоты, который в свою очередь отражает мероприятия, предназначенные для достижения заданного класса чистоты в чистых помещениях.
В период строительства нужно уделять особое внимание поддержанию чистоты на строительной площадке, организации работы и одежде персонала, распределению производства работ во времени. Работы, являющиеся более сильными источниками загрязнений, нужно выполнять до "чистых" операций, имеющих более высокую чувствительность к загрязнениям. Во время монтажа следует систематически собирать и удалять загрязнения, образующиеся при выполнении строительных работ.
Могут применяться различные специальные защитные меры, например, повышение давления в критических зонах, создание временных экранов и стен, использование "бросовых" фильтров в системе подготовки воздуха. После завершения монтажа до установки фильтров следует "продуть" систему вентиляции. Особое внимание следует обратить на очистку упаковки поступающего оборудования и материалов.
Основная идея протокола чистоты состоит в том, что нельзя добиться высокого класса чистоты без соблюдения требований чистоты при строительстве. "Грязно" построенное помещение нельзя привести в надлежащий порядок. Загрязнения, привнесенные, накопленные и не убранные при строительстве, нельзя полностью удалить в построенном чистом помещении при его подготовке к пуску. Во время эксплуатации будут происходить неожиданные выбросы скрытых загрязнений.
Наглядно схема чистого строительства может быть представлена в виде таблицы, в которой весь процесс строительства разделен во времени на шесть этапов.
На всех этапах составляются перечни допущенных отклонений от требований протокола чистоты.
В таблице приведена общая схема протокола чистоты. В каждом случае исполнитель сам решает, какие задачи и как отразить, оформляя это, при необходимости в виде инструкций (по переодеванию, уборке, поведению персонала, порядку доступа и пр.).
При разработке и выполнении протокола чистоты следует учитывать специфику строительства и особенности строительной площадки. Объем и содержание протокола чистоты зависят от класса чистого помещения. Например, микроэлектронное производство чувствительно к молекулярным загрязнениям, при реконструкции зданий могут представлять опасность имеющиеся биологические загрязнения и пр.
Для микроэлектроники можно выделить два вида протоколов чистоты:
1) Для чистых помещений классов 5 ИСО - 8 ИСО протокол дает принципы управления и контроля, определяет последовательно возрастающие требования к обеспечению чистоты.
2) Для чистых помещений классов 3 ИСО - 4 ИСО (производство пластин, фотолитография и другие ответственные операции при производстве микросхем) наряду с выполнением этих требований следует предусмотреть последовательность повышения эффективности фильтрации воздуха, подаваемого в зону монтажа, т.е. обеспечения определенного класса чистоты воздуха в самой зоне монтажа. Этот класс повышается по мере приближения к завершению монтажа.
Следует иметь в виду, что протокол чистоты должен быть воспринят исполнителями и руководством, чтобы к нему не было формального отношения.
Таблица В.1 - Схема протокола чистоты
Этап 1 |
Этап 2 |
Этап 3 |
Этап 4 |
Этап 5 |
Этап 6 |
||
Общестроительные |
Монтаж воздуховодов, |
Монтаж чистых |
Регулировка |
Аттестация чистого помещения |
|||
|
работы |
электрических сетей и пр. |
помещений |
системы вентиляции |
построенного |
оснащенного |
||
Цель |
Подготовка площадки под монтаж чистых помещений и коммуникаций |
Готовность к монтажу чистых помещений |
Готовность чистых помещений к подаче воздуха |
Готовность чистых помещений к аттестации |
Аттестация в построенном состоянии |
Аттестация в оснащенном состоянии |
|
Состав работ |
Строительство здания, его реконструкция или перепланировка (возведение перегородок, штукатурно-малярные работы) |
Выполнение работ, в т.ч. скрытых, по устройству воздуховодов, сетей и др. коммуникаций |
Монтаж ограждающих конструкций и др. комплектующих чистого помещения, завершение монтажа системы автоматического регулирования параметров микроклимата |
Балансирование воздухообмена, наладка системы автоматического регулирования параметров микроклимата, установка НЕРА-фильтров |
Аттестация построенного чистого помещения, в т.ч. контроль целостности НЕРА-фильтров в критических зонах |
Завершение монтажа оборудования. Аттестация оснащенного чистого помещения |
|
Документация |
Проект, проект организации строительства |
Проект |
Монтажная документация, проект |
Проект, исполнительная документация |
Программа испытаний |
Программа испытаний |
|
Чем завершается |
Сдача площадки, готовность по общестроительным работам, подвод коммуникаций |
Испытания воздуховодов на герметичность с составлением акта, проверка коммуникаций и энергоносителей |
Визуальный контроль герметичности швов стеновых и потолочных панелей чистого помещения, наладка системы вентиляции, подключение светильников чистого помещения и др. |
Протокол испытаний |
Протокол испытаний |
Протокол испытаний |
|
Кто выполняет |
Строительная организация общего профиля |
Специализированные монтажные организации |
Монтажная организация по чистым помещениям и специализированные монтажные организации |
Заказчик или специализированная фирма |
Заказчик или специализированная фирма |
Заказчик или специализированная фирма |
|
Одежда: |
|||||||
цель |
Защита персонала |
Защита персонала |
Защита персонала и конструкций |
Защита среды |
Защита среды |
Защита среды |
|
состав |
Комбинезон для общестроительных работ |
Комбинезон для общестроительных работ |
Чистый комбинезон |
Халат (костюм), шапочка, чистая обувь (бахилы) |
Халат (костюм), шапочка, маска для бороды, перчатки, чистая обувь (бахилы) |
Специальная одежда для чистых помещений для данного класса |
|
Система доступа |
Обычная |
Только допущенный персонал. Контроль входа и выхода (вноса и выноса материалов). Распаковка в специальных зонах |
Этап 2 + полезны индивидуальные таблички на костюм. Доступ только по определенным маршрутам |
Этап 3 + постоянный дежурный в рабочее время |
Этап 4 + обработка инструментов до вноса в чистые помещения |
Допуск в режиме эксплуатации чистого помещения |
|
Обучение по протоколу чистоты |
Нет |
Да |
Да |
Да |
Да |
Да |
|
Уборка |
Ежедневная уборка мусора |
Ежедневная уборка |
Ежедневная уборка пылесосом |
Проверка на чистую салфетку. Уборка пылесосом и влажными салфетками (губкой) |
Инструкция по уборке. Уборка пылесосом с НЕРА-фильтром |
Инструкция по уборке (дезинфекции) |
|
Контроль параметров |
- |
Визуальная чистота |
Визуальная чистота |
Проверка на чистую салфетку, счет частиц 5,0 мкм |
Этап 4 + счет частиц в соответствии с классом чистых помещений, программа испытаний |
Этап 5 |
|
Ограничения |
Не курить |
Этап 1 + не есть и не пить в зоне монтажа |
Этап 2 + не сваривать, не резать, не снимать транспортную упаковку, не выполнять непредусмотренные работы |
Этап 3 |
Этап 4 + требования гигиены персонала |
Этап 5 + требования по эксплуатации |
|
УДК 543.275.083:628.511:006.354 |
ОКС 13.040.01 |
| |
Электронный текст документа
подготовлен Free Of Charge Document и сверен по:
официальное издание
М.: Стандартинформ, 2019