4.1 Состояние(я) чистого помещения
При определении класса чистоты воздуха по концентрации частиц в чистом помещении или чистой зоне указывается одно или более из трех состояний: построенное, оснащенное, эксплуатируемое (3.3).
4.2 Размер(ы) частиц
Следует указать один или более пороговых размеров (нижних пределов) в диапазоне значений от 0,1 до 5 мкм для задания чистоты воздуха по концентрации частиц для целей классификации.
4.3 Классификационное число ИСО
Класс чистоты воздуха по концентрации частиц обозначается классификационным числом ИСО. Предельно допустимые концентрации частиц для каждого порогового размера приведены в таблице 1.
Счетные концентрации частиц для различных пороговых размеров по таблице 1 не отражают реального распределения частиц в воздухе по числу и размерам и служат лишь критериями для классификации. Примеры определения классов чистоты приведены в приложении В.
Таблица 1 - Классификация чистых помещений по ИСО 14644-1:2015
Класс ИСО |
Предельно допустимые концентрации частиц, частиц/м, с размерами, равными или большими следующих значений |
|||||
0,1 мкм |
0,2 мкм |
0,3 мкм |
0,5 мкм |
1,0 мкм |
5,0 мкм |
|
1 ИСО |
10 |
|||||
2 ИСО |
100 |
24 |
10 |
|||
3 ИСО |
1000 |
237 |
102 |
35 |
||
4 ИСО |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
5 ИСО |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
|
6 ИСО |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7 ИСО |
352000 |
83200 |
2930 |
|||
8 ИСО |
3520000 |
832000 |
29300 |
|||
9 ИСО |
35200000 |
8320000 |
293000 |
|||
Все концентрации в таблице являются кумулятивными, например, для класса 5 ИСО число 10200 частиц/м для порогового размера 0,3 мкм включает все частицы, размеры которых равны или превышают это значение. |
_______________
Класс 9 ИСО соответствует обычным офисным, производственным и другим помещениям, не являющимся чистыми помещениями, и в Российской Федерации не применяется (прим. ТК 184).
4.4 Обозначение
Обозначение концентрации аэрозольных частиц для чистых помещений и чистых зон должно включать в себя:
a) классификационное число ИСО, выражаемое как "класс ИСО";
b) состояние чистого помещения, для которого применяется этот класс;
c) пороговый(ые) размер(ы) частиц.
Если используются более чем два пороговых размера частиц, то каждый больший размер () должен по крайней мере в 1,5 раза превышать ближайший меньший размер (), т.е. .
Пример - Классификационное число ИСО; состояние чистого помещения; пороговый(ые) размер(ы) частиц. Класс 4 ИСО; оснащенное состояние; 0,2 мкм, 0,5 мкм.
4.5 Промежуточные десятичные классы чистоты и пороговые размеры частиц
Порядок работы для промежуточных классов и промежуточных пороговых размеров частиц для целых и промежуточных классов приведен в справочном приложении Е.