ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

Приложение F (справочное). Контрольные приборы

Приложение F
(справочное)

F.1 Введение

Настоящее приложение рассматривает контрольные приборы, которые следует применять при испытаниях по приложениям A, C и D.

В таблицах F.1 и F.2 приведены минимально необходимые требования для каждого вида приборов. Выбор контрольных приборов должен быть согласован заказчиком и исполнителем.

Настоящее приложение является справочным и не накладывает ограничений на использование усовершенствованных приборов по мере их появления.

Могут быть пригодными и использоваться другие приборы по соглашению между заказчиком и исполнителем.

F.2 Требования к приборам

Для проведения контроля по приложениям A, C и D следует использовать следующие приборы:

a) дискретный счетчик частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC);

Примечание - Требования к LSAPC установлены ISO 21501-4:2007 [1].

b) дискретный счетчик макрочастиц;

c) времяпролетный счетчик частиц;

d) микроскоп для счета частиц, собранных на фильтровальную бумагу (ASTM F312-8) [3].

Термины и определения, применимые к этим приборам, даны в разделе 3.


Таблица F.1 - Требования к дискретному счетчику макрочастиц

Наименование

Требование

Пределы измерения

Минимальный обнаруживаемый размер должен быть от 5 до 80 мкм и соответствовать заданным размерам частиц и возможностям прибора. Предельно допустимая концентрация частиц для LSAPC должна быть равна или превышать максимально ожидаемую концентрацию заданных частиц

Разрешающая способность

Должна составлять 20% для частиц, применяемых при калибровке, с размерами, заданными производителем

Максимально допустимая ошибка

20% для счета частиц с заданными размерами



Таблица F.2 - Требования к времяпролетному счетчику частиц

Наименование

Требование

Пределы измерения

Размеры частиц от 0,5 до 20 мкм; концентрация частиц от 1,0х10Число частиц/мЧисло до 1,0х10Число частиц/мЧисло

Разрешающая способность

При определении аэродинамического диаметра: 0,02 мкм для частиц с размером 1,0 мкм; и 0,03 мкм для частиц с размером 10 мкм

Максимально допустимая ошибка

10% от полной шкалы


      Система тестирования для предприятий