ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию

ПРИЛОЖЕНИЕ Н (справочное). Дополнительные требования, которые должны быть согласованы заказчиком (пользователем) и исполнителем (проектировщиком)

ПРИЛОЖЕНИЕ Н
(справочное)

H.1 Общие положения

Цель этого приложения - помочь заказчику (пользователю) и исполнителю (проектировщику) определить и согласовать дополнительные требования к чистым помещениям.

Н.2 Контрольные листы

Контрольные листы представлены в виде таблиц H.1-Н.12:

H.1 - характеристики процессов, влияющие на чистые помещения;

Н.2 - загрязнения, отрицательно влияющие на процесс;

Н.3 - характеристики технологического процесса;

Н.4 - внешние факторы, влияющие на процесс;

Н.5 - требования к окружающей среде в чистом помещении;

Н.6 - требования безопасности;

Н.7 - требования к наличию резервов;

Н.8 - требования к техническому обслуживанию;

Н.9 - другие требования, которые влияют на проектирование, строительство, эксплуатацию и техническое обслуживание;

Н.10-Н.12 - контрольные листы для учета перспективного развития, требований стоимости и планирования во времени.

Таблица H.1 - Характеристики процессов, влияющие на чистые помещения


Наименование процесса	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Основной	Непосредственно влияет на продукт или услугу
2 Вспомогательный	Косвенно влияет на продукт или услугу

Таблица Н.2 - Загрязнения, отрицательно влияющие на процесс


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Вид загрязнения	Неживая или живая частица
1.1 Частицы	Частицы различных размеров
1.1.1 Класс	По ГОСТ Р ИСО 14644-1
1 1.2 Размер (размеры)	Размер (размеры) частиц, М- и U-дескрипторы (приложение Е к ГОСТ Р ИСО 14644-1) - базовые, ультрамелкие макрочастицы и волокна
1.1.3 Время восстановления
1.2 Химические вещества	Молекулярные, ионные, газообразные, конденсирующиеся вещества, металлы
1.2.1 Количество	Масса, характеристика слоев. Концентрация
1.2.2 Класс	По ГОСТ Р ИСО 14644-1 или другому стандарту
1.2.3 Время восстановления
1.3 Биологические загрязнения	Живые, аэробные или неживые патогенные микроорганизмы, микроорганизмы, способные воспроизводиться
1.3.1 Тип	Бактерии, грибы и пр.
1.3.2 Вид загрязнения	Агрессивный по воздействию на поверхности, устойчивый к дезинфекции, патогенный
1.3.3 Размножение	Время от начального до устойчивого состояния
2 Энергия как загрязнитель	Источники энергии, влияющие на производство или оказание услуг
2.1 Вибрация	Степень движения
2.1.1 Амплитуда	Наибольшее отклонение
2.1.2 Частота	Интенсивность движения
2.2 Магнетизм	Электромагнитные поля
2.2.1 Сила поля
2.3 Радиочастота
2.3.1 Сила поля

Таблица Н.3 - Характеристики технологического процесса


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Исходные материалы и энергоносители	Вещество или энергия, требуемые для работы каждой единицы оборудования
1.1 Требования к твердым веществам	Перечень твердых веществ, используемых в процессе
1.1.1 Чистота/концентрация исходных твердых веществ	Для каждой единицы оборудования - перечень используемых твердых веществ с указанием чистоты/концентрации
1.1.2 Количество исходных твердых веществ	Для каждой единицы оборудования - перечень всех используемых твердых веществ, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
1.2 Требования к газам	Для каждой единицы оборудования - перечень всех газов, используемых в процессе
1.2.1 Чистота используемых газов	Для каждой единицы оборудования - данные о чистоте всех используемых газов
1.2.2 Количество используемых газов	Для каждой единицы оборудования - количество используемых газов, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
1.2.3 Давление	Для каждой единицы оборудования - перечень давлений всех используемых газов, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
1.3 Требования к используемым жидкостям	Для каждой единицы оборудования - перечень всех жидкостей, используемых в процессе
1.3.1 Чистота/концентрация используемых жидкостей	Для каждой единицы оборудования - перечень используемых жидкостей с указанием чистоты/концентрации
1.3.2 Количество используемых жидкостей	Для каждой единицы оборудования - количество всех используемых жидкостей, включая максимальные, минимальные и номинальные значения
1.3.3 Давление жидкостей	Для каждой единицы оборудования - перечень давлений всех используемых жидкостей, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
1.4 Требования к электроснабжению	Перечень требований к электроснабжению всех единиц оборудования
1.4.1 Напряжение
1.4.2 Фаза
1.4.3 Частота
1.4.4 Нагрузка
1.4.5 Допуски на отклонения параметров электроснабжения	Для каждой единицы оборудования - перечень максимально допустимых отклонений в электроснабжении, которые могут быть допущены без фильтрации электрического тока
2 Отходы
2.1 Требования к твердым отходам	Для каждой единицы оборудования - перечень твердых веществ, которые нужно удалить
2.1.1 Чистота/концентрация твердых отходов	Для каждой единицы оборудования - данные о чистоте/концентрации всех удаляемых твердых веществ
2.1.2 Количество твердых отходов	Для каждой единицы оборудования - количество всех удаляемых твердых веществ, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
2.2 Требования к удаляемым веществам	Для каждой единицы оборудования - все типы удаляемых веществ
2.2.1 Характеристики удаляемых веществ	Для каждой единицы оборудования - перечень всех удаляемых веществ (например, кислот, растворителей, тепла и пр.), их концентрации и температуры
2.2.2 Количество удаляемых веществ	Для каждой единицы оборудования- количество всех удаляемых веществ, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
2.2.3 Давление удаляемых веществ	Для каждой единицы оборудования - давления всех удаляемых веществ (газов, жидкостей), включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
2.3 Требования к жидким отходам	Для каждой единицы оборудования - перечень всех удаляемых жидких веществ
2.3.1 Количество жидких отходов	Для каждой единицы оборудования - количество всех удаляемых жидких веществ, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
3 Параметры окружающей среды	Необходимость обеспечения работы оборудования в соответствии с его назначением
3.1 Требования к температуре	Для каждой единицы оборудования - требования по максимальной, минимальной и оптимальной температуре как внешней, так и внутренней. Указанный перечень может потребоваться и для компонентов оборудования
3.1.1 Допуск на повышение температуры	Для каждой единицы оборудования - перечень максимальных допусков на повышение температуры
3.1.2 Допуск на понижение температуры	Для каждой единицы оборудования - перечень максимальных допусков на понижение температуры
3.2 Требования к относительной влажности	Для каждой единицы оборудования - требования по максимальной, минимальной и оптимальной влажности как внешней, так и внутренней. Указанный перечень может потребоваться и для компонентов оборудования
3.2.1 Допуск на повышение влажности	Для каждой единицы оборудования - перечень максимальных допусков на повышение влажности
3.2.2 Допуск на понижение влажности	Для каждой единицы оборудования - перечень максимальных допусков на понижение влажности
3.3 Требования к вибрации	Для каждой единицы оборудования - максимальные, минимальные и номинальные уровни вибрации
3.4 Физические барьеры	Оценка их необходимости
4 Физические свойства	Размеры и масса оборудования
5 Требования к монтажу	Последовательность монтажа
6 Эксплуатационные требования	Порядок эксплуатации
7 Требования технического обслуживания	Порядок технического обслуживания, виды работ и их периодичность
8 Состояние до начала процесса	Описание исходных материалов
9 Состояние после завершения процесса	Описание последующих этапов производства
10 Производительность процесса	Количество продукта, проходящего через оборудование за определенное время
11 Связь	Принцип организации связи
12 Требования эргономики	Перечень основных решений

Таблица Н.4 - Внешние факторы, влияющие на процесс


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Нормативные требования	Перечень всех нормируемых факторов, влияющих на выбор строительной площадки и эксплуатацию, включая местные нормы, указания и необходимость получения разрешения на строительство
2 Необходимые ресурсы и факторы	Перечень необходимых ресурсов, включая их доступность, количество и качество
2.1 Водоснабжение	Характеристика местного артезианского и муниципального водоснабжения, включая данные о токсичности, мутности и пр.
2.2 Качество окружающего воздуха	Характеристика окружающего воздуха
2.3 Возможности обеспечения электроэнергией	Характеристика местной системы электроснабжения, в том числе мощность, напряжение, число фаз, частота, величина и частота перепадов напряжения и пр.
2.4 Имеющиеся системы удаления отходов	Характеристика местных систем удаления отходов
3 Характеристика вибраций в зоне строительной площадки	Оценка уровней вибрации от внешних факторов и их изменений. Оценка потенциального влияния планируемых процессов и оборудования
4 Оценка влияния близлежащего окружения	Перечень всех влияющих факторов от близлежащих сооружений, процессов, загрязнений и пр. Оценка их потенциального влияния на планируемые процессы, оборудование и персонал
5 Близлежащие геотехнические факторы	Перечень всех геотехнических факторов (например, токсичности и устойчивости почвы и пр.). Оценка этого влияния на проектируемую систему
6 Факторы безопасности и доступа	Перечень всех факторов, определяющих безопасность и возможность доступа в помещения. Оценка их влияния

Таблица Н.5 - Требования к окружающей среде в чистом помещении


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Требования к воздуху	Требования для процессов, оборудования и персонала с перечислением требований к чистоте. Классификация каждой зоны по чистоте
1.1 Чистота	Заданные классы чистоты
1.2 Тип потока воздуха	Типы потоков воздуха (однонаправленный, неоднонаправленный или смешанный)
1.3 Направление потока воздуха	Направление потоков воздуха (вертикальный, горизонтальный)
1.4 Скорость воздуха	Скорости потоков воздуха в технологической зоне
1.5 Движение воздуха в помещении	Аэродинамическая картина движения воздуха в помещении. Влияние процесса, персонала и стоимостного фактора
1.6 Температура	Требования к температуре, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
1.6.1 Темп повышения температуры	Максимально допустимый темп повышения температуры
1.6.2 Темп понижения температуры	Максимально допустимый темп понижения температуры
1.7 Относительная влажность	Требования к влажности, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения
1.7.1 Темп повышения влажности	Максимально допустимый темп повышения влажности
1.7.2 Темп понижения влажности	Максимально допустимый темп понижения влажности
1.8 Давление	Давление в чистом помещении
1.8.1 Перепад давления	Перепады давления от зон с большим давлением к зонам с меньшим давлением
1.8.2 Пределы изменения давления	Максимально допустимые пределы изменения давления
2 Уровень звукового давления (шума)	Максимально допустимый и номинальный уровни звукового давления (шума)
3 Вибрация	Максимально допустимый и номинальный уровни вибрации
4 Освещение	Максимальные и номинальные требования к освещению чистых помещений и ограничения на длину волны
5 Размеры помещения	Указание размеров помещения
5.1 Высота от пола до потолка	Требования к высоте чистого помещения от пола до потолка
5.2 Площадь помещения	Требуемая площадь, длина и ширина помещения
5.3 Нагрузка на пол	Максимальная масса груза
6 Ионизация	Баланс зарядов в воздухе

Таблица Н.6 - Требования безопасности


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Требования безопасности для чистых помещений	Все нормы и правила, относящиеся к системе чистого помещения
2 Разделение зон циркуляции воздуха	Специфические требования к отдельным зонам контроля и разделения
3 Хранение и транспортирование токсичных, воспламеняющихся и опасных материалов	Специфические процессы и общие требования к хранению
4 Требования к эвакуации	Минимальное расстояние до выхода
5 Физические требования	Требования к огнестойкости материалов и узлов
6 Система дымоудаления	Оценка ее необходимости
6.1 Производительность системы вентиляции	Кратность воздухообмена

Таблица Н.7 - Требования к наличию резервов


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Дублирование системы	Возможность 100%-ной замены
2 Увеличение размеров системы	Выполнение при необходимости
3 Резерв основного элемента	Полная замена элемента
4 Резервный источник	Возможность переключения на него
5 Обнаружение и регистрация отказов
6 Способы переключения	Ручные или автоматические

Таблица Н.8 - Требования к техническому обслуживанию


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Средняя наработка на отказ
2 Среднее время ремонта
3 Максимальное время ремонта
4 Наличие запасных частей	Тип и количество

Таблица Н.9 - Другие требования, которые влияют на проектирование, строительство, эксплуатацию и техническое обслуживание


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Требования к потокам персонала и материалов	Требования к потокам продукта, процессов и персонала. Расстояния между рабочими местами и их функциональные взаимосвязи. Необходимые средства связи и доступ персонала
1.1 Воздушные шлюзы	Потребность в них
1.2 Требования к одежде	Типы одежды
2 Интенсивность эксплуатации	Данные об интенсивности эксплуатации чистого помещения (непрерывная или периодическая). В последнем случае указывается длительность цикла эксплуатации, например, 5 дней в неделю или 8 часов в день
3 Эргономика	Выбранные требования
4 Эстетика	То же

Таблица Н.10 - Перспективное развитие


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Будущее	Оценка целесообразности учета на данном этапе развития
2 Гибкость	То же

Таблица Н.11 - Требования стоимости


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Капитальные затраты	Оценка первоначальных затрат
2 Эксплуатационные расходы
2.1 Использование энергии	Определение путей снижения расходов
2.2 Расходы на обслуживание	Оценка расходов на обслуживание
3 Стоимость жизненного цикла	Оценка затрат

Таблица Н.12 - Планирование во времени


Наименование	Описание	Значение
		требуемое	достигнутое
1 Постановка задачи	Согласование целей проекта заказчиком и исполнителем
2 Определение основных этапов	Определение ключевых этапов проекта и критериев оценки

Н.3 Контрольный лист основных требований к проекту чистого помещения

Контрольный лист составляется для того, чтобы помочь заказчику и исполнителю проекта чистых помещений документально оформить существенные и второстепенные аспекты проекта чистого помещения. Эту форму следует использовать совместно с нормативными и справочными разделами настоящего стандарта.


Название проекта ____________________		Место строительства _________________
Заказчик ____________________________		Исполнитель ________________________
Адрес заказчика _____________________		Адрес исполнителя ___________________
Телефон заказчика ___________________		Телефон исполнителя ________________
Дата _______________________________

Таблица Н.13 - Опросный лист по требованиям к чистым помещениям (к разделу 4)


Номер пунктов раздела 4	Описание требования	Ответ, требование, спецификация
4.2	Номер и дата издания настоящего стандарта
4.4	Основная цель, для которой необходимо чистое помещение Перечень операций, выполняемых в чистом помещении Трудности в достижении требуемых критериев (примеры приведены в приложениях А, В и D)
4.5	Требуемые классы чистоты или требования к чистоте в соответствии с ГОСТ Р ИСО 14664-1 или другими стандартами (примеры приведены в приложении F)
4.6	Перечень параметров окружающей среды, контролируемых при аттестации. Допустимые отклонения, методы измерений и методы калибровки (ГОСТ Р ИСО 14644-2, примеры приведены в приложении F)
4.7	Концепция контроля загрязнений, которая должна использоваться для достижения требуемого уровня чистоты, включая эксплуатационные критерии (примеры приведены в приложении А по описанию концепции контроля)
4.9	Поток материалов и пр. через чистое помещение (примеры приведены в приложении D)
4.10	Состояния чистого помещения, при которых должны достигаться и поддерживаться заданные условия, включая отклонения с течением времени; методы обеспечения чистоты помещений в эксплуатации персоналом (например, применяемой одеждой, технологией уборки, организацией потоков персонала и контроля доступа во все чистые зоны - примеры приведены в приложении С)
4.11	Планировочные решения системы чистого помещения (примеры приведены в приложении D)
4.12	Все критические размеры оборудования и ограничения по массе, включая те, которые относятся к свободному пространству (примеры приведены в приложении D)
4.13/4.14	Технологическое оборудование, устанавливаемое в контролируемом пространстве, методы эксплуатации, доступ во время строительства и технического обслуживания, выделения от оборудования, размеры и масса, требования по удалению отходов (примеры приведены в приложениях В, D, Е, G и Н)
4.15	Требования к техническому обслуживанию чистых помещений, образующих контролируемое пространство, определенные с учетом планирования работ во времени (примеры приведены в приложениях D и Е).
4.16	Определение ответственности за установление критериев, концепцию проекта, рабочий проект, строительство, испытания, приемку и аттестацию, включая оформление результатов испытаний (примеры приведены в приложениях Е и G)
4.17	Указание влияния условий окружающей среды, таких как загрязнение химическими веществами и частицами, шум и вибрация (примеры приведены в приложении Н)