ПРИЛОЖЕНИЕ F
(справочное)
F.1 Проектирование
F.1.1 Требования к контролю параметров воздушной среды зависят от назначения чистого помещения и задаются заказчиком. Приводимые в этом приложении требования не являются исчерпывающими и могут быть дополнены по мере необходимости.
F.1. 2 В проекте чистого помещения должны быть приведены:
a) концепция контроля загрязнений;
b) требования к качеству продукции;
c) капитальные и текущие затраты (стоимость жизненного цикла);
d) экономия энергии;
e) требования безопасности;
f) требования охраны здоровья персонала и комфортности;
g) требования и ограничения, определяемые оборудованием и технологическим процессом;
h) данные о надежности, легкости в эксплуатации и техническом обслуживании;
i) вопросы утилизации (транспортирование отходов и упаковочных материалов);
j) нормативные требования.
F.2 Температура и влажность
F.2.1 Должны быть заданы номинальные значения и пределы изменения температуры и относительной влажности, которые определяются особенностями процесса.
F.2.2 Контроль температуры нужен для:
a) технологических процессов;
b) оборудования и материалов;
c) обеспечения стабильных условий для персонала, находящегося в одежде для чистого помещения.
В общем случае тепловыделения от источников света велики и постоянны, тепловыделения от персонала изменяются, тепловыделения от технологического процесса (тепловая герметизация, пайка, сварка, тепловая обработка и тепловыделения от сосудов под давлением) велики и изменяются.
F.2.3 Большие объемы воздуха, необходимые для обеспечения чистоты, благоприятно влияют на отвод тепла от внутренних источников и работу системы регулирования температуры. Анализ потоков воздуха в зонах выделения тепла позволяет получить картину распределения температуры и уровней загрязнений.
F.2.4 Контроль относительной влажности нужен для:
a) технологических процессов;
b) оборудования и материалов;
c) снижения электростатических зарядов;
d) обеспечения комфорта для персонала в сочетании с указанным выше контролем температуры.
F.2.5 В чистых помещениях изменения влажности обусловлены, как правило, внешними факторами (например, изменениями погоды), а не колебаниями в выделении влажности в самом чистом помещении. Если внутри чистого помещения происходит испарение, то эту зону следует оградить и оборудовать вытяжными устройствами. Следует принять меры защиты от электростатического эффекта.
Некоторые процессы (такие как изготовление вакуумных трубок и таблетирование) требуют относительной влажности менее 35%. Материалы, применяемые для снижения электростатического эффекта, приведены в приложении Е. В зоне с низкой влажностью может быть более высокий заряд, чем в зоне с высокой влажностью.
F.2.6 Следует определить температуру и относительную влажность, комфортные для персонала. Типовой диапазон относительной влажности от 30% до 65%. За пределами этого диапазона следует принять соответствующие меры, чтобы учесть требования процесса и персонала. Специальное руководство по температурному режиму, который нужно учесть при использовании одежды для чистых помещений, приведено в ИСО 7730 [З].
F.2.7 Следует задать точки измерения температуры и относительной влажности.
F.2.8 Следует определить наружные условия, при которых чистое помещение должно работать с учетом условий его эксплуатации.
F.2.9 Следует определить количества тепла и влаги, которые выделяются в чистом помещении, их источники и динамику изменений.
F.3 Освещение
F.3.1 Требуемая освещенность и ее равномерность в различных частях чистого помещения должны быть заданы с указанием методов обеспечения этих требований.
F.3.2 Цвет светового потока должен быть определен заказчиком, поскольку он имеет существенное значение для комфорта персонала и выполняемых процессов, особенно процессов фотолитографии.
F.3.3 Система освещения должна быть совместима с эффективной эксплуатацией чистого помещения. Крепления светильников не должны выделять загрязнения. Применяются герметичные светильники или светильники без выступов. При однонаправленном потоке воздуха конструкция и расположение светильников должны исключить или свести к минимуму его турбулентность. Светильники должны быть удобными для обслуживания, герметичными и не вносить загрязнения. Должен быть принят во внимание эффект бликов от поверхностей с учетом выполняемой работы.
F.4 Шум и вибрация
F.4.1 Общие положения
При задании допустимых пределов шума и вибрации следует обратить внимание на следующие факторы:
a) место расположения строительной площадки - уровни вибрации, характер почвы и развитие окружающего района в будущем;
b) проект здания - основание для пола, жесткость, изолирующие соединения;
c) вопросы механики - выбор оборудования, проект системы, эксплуатационные требования, системы виброизоляции, системы защиты от шума (внешнего и внутреннего);
d) архитектурно-планировочные решения - планировку чистых помещений, размещение оборудования и генеральный план предприятия, системы обслуживания.
F.4.2 Уровень звукового давления
Выбор уровня звукового давления, обусловленного окружающей средой, например, оборудованием, основан на требованиях комфорта и безопасности персонала. Типовой уровень звукового давления для чистых помещений должен быть от 50 до 65 дБ. В некоторых случаях может потребоваться снижение уровня шума или допускаться превышение этих пределов. Уровни звукового давления измеряются по ГОСТ Р 51402 (ИСО 3746).
F.4.3 Механическая вибрация
F.4.3.1 Вибрация в чистом помещении оказывает отрицательное влияние на процесс, персонал и срок службы оборудования.
F.4.3.2 Свести вибрацию к минимуму или изолировать источник вибрации в чистом помещении можно с помощью высококачественных вентиляторов и виброгасящих устройств.
F.4.3.3 Допустимые уровни вибрации при контроле определяются по стандартам ИСО 1940-1 [1] и ГОСТ ИСО 10816-1.
F.5 Экономия энергии
В проекте чистого помещения следует учесть возможность экономии энергии за счет согласованного отключения системы регулирования температуры и влажности, оптимизации требований к поддержанию этих параметров, а также уменьшения расхода воздуха в нерабочие периоды. В этом случае указывают время, необходимое для восстановления параметров чистого помещения.