[1] |
EN ISO 14644-3:2005 |
Cleanrooms and associated controlled environment - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2005) (Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний) |
УДК 543.275.083:628.511:006.354 |
ОКС 91.140.30 |
|
Ключевые слова: эффективность, фильтры, очистка, HEPA, ULPA, классификация, маркировка, концентрация частиц, испытания, аэрозоль |
Электронный текст документа
подготовлен Free Of Charge Document и сверен по:
официальное издание
М.: Стандартинформ, 2019